硅片要求     規(guī)格： 方片125×125mm 、156×156mm
         圓片 3"、4"、5"、6"、8"

測(cè)量功能 厚度： 單點(diǎn)及多點(diǎn)厚度
                TTV: 總厚度偏差
           體電阻率： 單點(diǎn)及多點(diǎn)電阻率
                TRV: 總體電阻率偏差

測(cè)量指標(biāo) 厚度 范圍： 150-1000μm 
   測(cè)量誤差:≤±1.0μm
   重復(fù)性1σ:≤0.2μm 

  TTV 范圍： 0.0-200.0μm
   測(cè)量誤差：≤±0.50μm
   重復(fù)性1σ:≤0.2μm
              電阻率 范圍： 0.1-30Ω.cm
   測(cè)量誤差：≤±3.0%*R
   重復(fù)性1σ:≤1.5%*R

設(shè)備尺寸  360mm(L)×350mm(W)×500mm(H)