Edwards是干式真空泵浦系統的研發技術領導先驅，其技術適用于半導體及其他相關產業包括LED、平面顯示器、太陽能產品等產業的生產制造沉積制程，專門處理惡劣與腐蝕性的化學環境。

 

 

Edwards的干式泵浦解決方案和尾氣處理系統的運作不僅環保，而且十分具有經濟效益。其干式泵浦如iXL 和 iXH系列可以有效地節能減碳。今年SEMICON Taiwan展場中新發表的iXL1000，是為電介質刻蝕及輕型應用所設計的新型干式真空泵浦， 相較于非常成功的同等級iGX/GX系列干式泵浦，它能再有效降低多達33%的耗電量。同樣的，Edwards的尾氣處理解決方案，也有類似的綠色環保特色，并能降低燃油消耗。

 

Edwards的干式泵浦和尾氣處理系統正在被廣泛應用于臺灣的半導體及相關產業，當中包括臺灣所有主要的世界領先代工產業，Edwards在臺灣至今已經安裝超過22,000臺干式和渦輪分子泵浦，以及3,000組尾氣處理系統。臺灣開創了外延片代工模式，在充滿挑戰的全球經濟環境下，臺灣的外延片代工廠持續投資于領先的技術，并把組件尺寸縮少到在奈米尺寸制程。Edwards先進的干式泵浦技術和尾氣處理系統，在臺灣能成功將半導體制程跨入深次微米 (deep-submicron) 技術的過程中，扮演了重要的關鍵角色；同時在日益重要的化合物半導體生產領域等新興制程中，Edwards也能根據新開發的應用之特別需求，提供最適合的產品組合。

 

Edwards亞太區總裁 Neil Lavender-Jones指出：“Edwards在臺灣發揮了兩方面的作用。我們業界領先的干式泵浦技術，對現今半導體生產制程中所需的真空環境而言，絕對是關鍵的核心。Edwards幫助整個產業以低擁有成本獲得可靠、一致及節能的真空環境，并在維持高產量和高硅片“一次成功率”中發揮了重要作用。同樣重要的是，我們的尾氣處理系統確保了在這些制程中產生的高污染物質，包含可能加速全球暖化的氣體，將沒有任何機會擴散到自然環境里。對于Edwards公司來說，環保是企業的首要社會責任，我們始終不變的目標是將環境的碳足跡減到最少。”

 

2011年，Edwards客戶在全球各地的設備總共減少排放相當于8,500,000公噸的二氧化碳。Edwards將參與9月6日(星期四)在臺北世貿南港展覽館402A室，由SEMICON Taiwan 2012展會舉辦的綠色制程技術趨勢論壇，強調Edwards在環境管理中扮演的角色和肩負的責任。論壇主題是綠色生產制造的先進技術，真空產品業務經理Mike Percy和資深產品經理Jerome Boegner將會發表演說，題目為“真空和尾氣處理系統在能源和設備方面的節省優勢” (時間為下午3:00到3:30)。

 

自1998年Edwards在臺灣設立以來，公司的規模已成長五倍，員工數從42名擴展至目前共有205名。2010年Edwards更加強對臺灣客戶的承諾，于苗粟縣竹南鎮設置一占地5,000平方米 的先進服務銷售中心，為顧客帶來更貼近的在地服務，并擴展各項服務的范圍。隨著Edwards在臺灣不斷的提供服務改進和支援，也吸引了眾多的客戶，在短短兩年內，公司在臺灣的服務業務已經出現顯著的成長。

 

Edwards在亞洲深耕達四十年，現在與此區域各個頂尖的半導體制造商合作，提供整合式真空和尾氣處理解決方案，包括建置、管理、服務和支援。