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德國科騰(Köthen)安哈爾特應用技術大學日前收購牛津儀器公司(Oxford Instruments)旗下PlasmaPro System100 ICP 65設備。
該大學表示，此次收購將有助于其改善研究工作。PlasmaPro System100的關鍵特征包括加工溫度的范圍廣泛，從低溫至高達400ºC。
安哈爾特大學教授伯恩哈德(Bernhard)博士表示：“無掩模硅干法刻蝕工藝可用于處理硅襯底表面結構，以創造黑硅。”
“降低反射率為電池光捕獲提供了更大的潛力。啟用干法刻蝕工藝創造表面結構獨立于硅襯底的晶體結構，并且能夠應用于硅片的一側。我們選擇PlasmaPro系統由于其為我們提供了研究需要的所有功能。”
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