• 核心技術涵蓋了生產高效的PERC電池所必備的制程步驟
• 全自動化鍍膜系統在晶硅太陽能電池的正面與背面進行保護層鈍化，大幅提升晶硅太陽能電池的轉換效率
• 核心技術涵蓋了生產高效的PERC電池所必備的制程步驟
• 全自動化鍍膜系統在晶硅太陽能電池的正面與背面進行保護層鈍化，大幅提升晶硅太陽能電池的轉換效率

Manz 為全球領先的高科技設備制造商，隨著VCS 1200 PECVD垂直式真空鍍膜系統問世，我們正式踏足真空鍍膜的市場。VCS 1200 PECVD是一款專門針對晶硅太陽能電池進行正面與背面垂直定位鍍膜的設備，可完成保護層鈍化。它的發表也意味著我們完整掌握了全自動化晶硅太陽能電池生產的每一重要步驟，同時能提供晶硅太陽能電池整體解決方案的能力，可幫助客戶規劃有助于提升效率的制程并進一步降低投資及營運成本。

VCS 1200 PECVD杰出的表現在于發揮氮化硅及氧化鋁層的最佳鈍化效果，并且僅需單一步驟便能制造出傳統用的多層堆棧。此外，高效能電漿源的使用，不僅呈現了最佳鈍化效果，更保證了鍍膜時的高穩定性。再者， Manz 鍍膜載具系統（Manz Coating Carrier System）的創新制程概念及電池片垂直定位，能完全免除其他制造商在制程中使用機械式定位硅芯片而導致的陰影或針印 (shading or pin mark)，并有助于確保電池表面鍍膜的高度均勻性，此亦可避免一般系統可能出現的瑕疵，不會在鍍膜前或鍍膜期間發生不必要的微粒沉積于電池片上(particle deposits)。此一環節對降低生產成本扮演著重要角色，可讓新一代高效太陽能電池的生產再獲可觀利潤。

技術的拓展使效率再提升
PERC太陽能電池的背面保護層鈍化系分為三大步驟，首先，運用化學濕制程拋光電池片的一側，然后使用電漿輔助化學氣相沉積系統在電池片上生成氧化鋁薄膜和一層氮化硅，最后再以雷射開啟堆棧式絕緣層，藉此建立和電池片背面的局部接觸。我們的VCS 1200 PECVD使用氧化鋁進行太陽能電池背面保護層的鈍化，這具備有兩大效益：第一，保護層會將長波長范圍的光子反射回電池，藉以提升電池的光電轉換效率。第二，氧化鋁有助于延長電池內部所產生之電荷載子的壽命，藉此增加電流與電壓，這兩項優勢皆能提升太陽能電池的運作效率。因此我們的核心技術不只涵蓋上述所有制程步驟，也是目前唯一一家能為客戶規劃有助于提升效率制程的設備供貨商。

為現有生產線創造可觀利潤
VCS 1200 真空鍍膜系統是由 2010 年成立的 Manz Coating GmbH 所研發，產量可達每小時1200片，并能與現有生產線完美整合。總經理 Mathias Höfler 表示：「能在極短時間內讓系統銷售上市，是由于我們在卡爾斯坦所聘雇 50 位高度專業工程人員匯集專家技術的成果。有了VCS 1200，我們如今已成能為晶硅太陽能電池生產提供每一重要制程步驟的設備供貨商。」

VCS 1200能和現有生產線輕易整合，使電池制造商因此獲得再次提振營收的絕佳機會。創辦人暨執行長 Dieter Manz 補充道：「每個人都了解，太陽能光伏產業目前面臨的難處在于滿足所有電池制造商削減每瓦成本的需求。PECVD為完美的解決方案，將有效的幫助客戶進一步降低投資與營運成本。」



Manz 利用新研發的真空鍍膜系統，提升硅晶太陽能電池的運作效率



VCS 1200真空鍍膜系統是整個制程的最后一塊拼圖：Manz 目前提供的系統，皆能達成晶硅太陽能電池生產制程的每一重要步驟。