愛發科（ULVAC）上市了單機可評測6種特性的串聯薄膜硅太陽能電池用評測裝置“MPEC-1300”。與評測不同的特性需要使用不同的裝置時相比，裝置成本及應用成本均減少了1/2左右。支持尺寸為1100mm×1400mm的底板。MPEC-1300的價格方面，配備所有測量功能時為1億5000萬日元。預計第一年度銷售10臺。該公司在太陽能電池展會“PVJapan2009”上展板展示了該裝置。  

　　MPEC-1300可評測串聯結構薄膜硅太陽能電池制造工序所需的如下特性。（1）評測電極用金屬薄膜膜厚及面內分布的“觸針式表面形狀測量”；（2）評測電極用金屬薄膜電阻率分布的“低電阻率測量”；（3）獲得微結晶硅薄膜的結晶化率，繪制面內分布的“Raman光譜測量”；（4）三維評測激光劃片后及TCO膜表面的形狀的“三維測量”；（5）評測非晶硅薄膜光學常數的“光譜橢偏儀”；（6）評測非晶硅薄膜抵抗率分布的“高抵抗率測量”。

　　MPEC-1300并非嵌入生產線中在線使用，而是單獨設置，然后根據需求將底板搬到檢測設備處進行測量。在這種情況下，如果評測裝置支持的底板尺寸較小，就會進行破壞性檢測。而MPEC-1300仍可測量尺寸為1100mm×1400mm的底板。今后為了不斷提高薄膜太陽能電池的質量及性能，檢測工序將越來越重要。（特約撰稿人：北原 洋明）

串聯結構薄膜硅太陽能電池用評測裝置“MPEC-1300”

 
可評測制造工序所需的6種特性