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巴斯夫拓展用于制造太陽能電池的SELURIS產品系列

   2010-04-23 SEMI21世紀新能源12280

巴斯夫拓展了用來制造太陽能電池的工藝化學品產品系列,新推出的SELURIS Clean產品是一種全新的環保型清洗解決方案。目前,巴斯夫已經可以對外供應SELURIS Clean。該產品能為太陽能電池生產提供多項優勢,它能有效提升親水性,這包括改善其表面活性,及后續的硅晶圓清洗與保護層形成。此外,SELURIS Clean也可在較低的溫度下使用,這樣成本自然就降低了。

SELURIS Clean ? 更優質的清洗方案

SELURIS Clean在太陽能電池的生產流程中可應用兩次,分別是在磷酸摻雜工藝的前后。在摻雜工藝前,必須要讓經過切割和表面粗化的硅晶圓具備親水性,這可使其表面較為潤濕,并讓磷酸更均勻地分布在晶圓上,使太陽能電池擁有最佳性能。
 
在摻雜工藝后,SELURIS Clean主要被用作高效清洗劑,可將殘留在晶圓表面上的磷輕易、快速地清除,降低非預期性電氣誤差發生率,從而避免太陽能電池性能降低;同時改善晶圓表面的保護層。

巴斯夫全球電子材料業務部副總裁步凱熙說:“SELURIS Clean 拓展了我們在工藝化學品領域的產品種類。為此,我們積極運用了巴斯夫內部的專業知識及解決方案,特別是電子材料方面的經驗。身為電子材料市場的先驅,我們是太陽能電池產業客戶理想的合作伙伴,因為我們可以通過化學創新提升太陽能相對于其它能源的競爭力。”他進一步表示:“我們正致力于開發更多創新產品,對我們來說,太陽能產業是未來主要的市場之一。”

SELURIS ? 提升工藝效率及性能

在SELURIS 的產品系列中,巴斯夫為客戶提供用于單晶及多晶太陽能電池蝕刻、表面粗化、摻雜工藝的化學品。這些產品專門為太陽能電池的生產流程而調制。比如,此系列產品的化學純度就是專為太陽能電池生產而量身定制的。SELURIS系列中有部分產品是用于蝕刻和表面粗化的化學品,能修復芯片切割時的損傷,并使表面結構化。此外,此系列產品也包含了用于晶圓摻雜工藝的高純度氧氯化磷(POCl3)。

 

 

 
標簽: 多晶硅
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