日前，中國(guó)政府發(fā)布了《國(guó)務(wù)院關(guān)于促進(jìn)光伏產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展的若干意見(jiàn)》(以下簡(jiǎn)稱(chēng)《意見(jiàn)》)，《意見(jiàn)》中對(duì)產(chǎn)品及技術(shù)的要求被業(yè)內(nèi)大部分企業(yè)稱(chēng)為“高準(zhǔn)入門(mén)檻”，它明確規(guī)定新上光伏制造項(xiàng)目應(yīng)滿(mǎn)足單晶硅光伏電池轉(zhuǎn)換效率不低于20%、多晶硅光伏電池轉(zhuǎn)換效率不低于18%等要求，這一要求無(wú)疑將引發(fā)新一輪的太陽(yáng)能電池技術(shù)創(chuàng)新與設(shè)備改進(jìn)。
作為致力于以先進(jìn)研發(fā)實(shí)力制造設(shè)備的Schmid集團(tuán)在此背景下參照了電池生產(chǎn)商的最新市場(chǎng)需求發(fā)展技術(shù)。隨著5500系列APCVD傳動(dòng)式工藝爐的開(kāi)發(fā)，一套為工業(yè)化量產(chǎn)高效率電池的成熟系統(tǒng)已經(jīng)為一些特定應(yīng)用領(lǐng)域準(zhǔn)備就緒，特別是半導(dǎo)體行業(yè)的摻雜玻璃。

Schmid集團(tuán)光伏事業(yè)部副總裁Christian Buchner 博士，認(rèn)為Schmid集團(tuán)的準(zhǔn)確定位滿(mǎn)足了來(lái)自中國(guó)客戶(hù)的最新需求。“我們認(rèn)真查閱了中國(guó)政府關(guān)于太陽(yáng)能發(fā)展的建議后再次有信心相信在短期和中期內(nèi)，只有一直在投資新技術(shù)設(shè)備，才可能生產(chǎn)效率超過(guò)20%的高品質(zhì)電池，才能在市場(chǎng)上獲得最終生存。我們的整線解決方案保證多晶18%和單晶20%的效率。投資已經(jīng)就緒，但只有在高效技術(shù)的支持下，才能確保以上電池生產(chǎn)的高效率。”

APCVD 是成功生產(chǎn)PERC電池的因素

據(jù)介紹，關(guān)于PERC生產(chǎn)工藝，Schmid是唯一可單獨(dú)提供所有制程的設(shè)備供應(yīng)商。Schmid PERC工藝包括背面清洗，APCVD鍍膜和背面鍍膜面激光開(kāi)槽。所有設(shè)備可以簡(jiǎn)單集成到客戶(hù)已有生產(chǎn)線，并提供市場(chǎng)上最低的制造成本。

根據(jù)計(jì)算，Schmid集團(tuán)應(yīng)用于鈍化膜和覆蓋膜的APCVD技術(shù)，成本比ALD和PECVD工藝低40-50%。PERC電池由晶體硅組成。對(duì)于背面的鈍化，Schmid采用APCVD在硅片上鍍制氧化鋁層；背面有兩層覆蓋膜同樣通過(guò)APCVD技術(shù)制備。取決于不同的硅片質(zhì)量，采用Schmid工藝技術(shù)，可獲得平均效率在20%-20.5%的Cz單晶硅PERC電池和18-18.5%的多晶硅PERC電池。