2009年6月2日，中硅高科承擔的國家“十一五”科技支撐計劃課題“大型三氯氫硅合成、提純工藝技術與關鍵裝置研究”，“高效加壓還原爐系統研究”，“大型低溫加壓四氯化硅氫化技術與裝置研究”三個課題和參與完成的課題“多晶硅標準、專利體系建設與研究”順利通過驗收評審。

　　驗收評審會由國家科技部和中國電子材料行業協會在洛陽中硅高科組織召開。在深入實地考察了三個項目的課題現場后，專家組認真審查了相關技術資料，聽取了課題承擔單位的課題報告，重點詢問了其中的關鍵問題。經過認真質疑和討論，專家組成員一致同意以上四個項目通過驗收。并希望中硅高科堅持以技術創新為動力，研發多晶硅生產先進技術，為中國多晶硅產業的發展做出更大的貢獻。

　　多晶硅是集成電路和光伏發電用關鍵原材料，是《國家中長期科學和技術發展規劃綱要》制造業領域基礎原材料優先主題的重要內容，是國家重點鼓勵發展的產品和產業。2006年，科技部啟動了“十一五”國家科技支撐計劃“多晶硅材料產業關鍵技術開發”重點項目。中硅高科承擔三項研究課題、參與完成一項課題。

　　這四項科技成果的成功研制，成功解決了規模化多晶硅生產中的瓶頸問題，打破了國外技術封鎖，填補國內空白，標志著我國多晶硅生產集成工藝技術又獲新突破。研發成果應用于生產線，降低了生產成本，提高產品質量，提升我國多晶硅產業綜合競爭力，使多晶硅產業和諧、健康、穩定、持久地發展。